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JB/T5633-1991

中文题名:
单晶炉 能耗分等
英文题名:
Single-crystal furnace. Grading of energy consumption
基本信息
发布机构:国家机械工业局
发布日期:1991-08-27 00:00
实施日期:1992-07-01 00:00
关联能源:
适用范围
JB/T 5633-1991单晶炉 能耗分等.pdf

 本标准规定了单晶炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。

关联标准
替代标准
引用标准
标准分类号
中国标准分类号:J01
国际标准分类号:21.010