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单晶炉 能耗分等

发布时间: 1991-08-27     来源:
JB/T 5633-1991单晶炉 能耗分等.pdf

 本标准规定了单晶炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。