本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
J01
机械行业节能设计规范
通用机械节能设计技术规定
炼钢电弧炉炉座能耗分等（内部使用）
炼钢平炉能耗分等（内部使用）
锻造加热炉能耗分等（内部使用）
21.010
陶瓷磨具干燥窑 能耗分等
铁合金预热炉 能耗分等
硅碳棒素烧窑 能耗分等
拉丝接触加热装置 能耗分等
光学玻璃电热熔炼炉 能耗分等
