本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业外延炉。
J01
机械行业节能设计规范
通用机械节能设计技术规定
炼钢电弧炉炉座能耗分等（内部使用）
炼钢平炉能耗分等（内部使用）
锻造加热炉能耗分等（内部使用）
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