荷兰Jacobs公司开发了超级Claus法，并于1988年实现了工业化。1990年后，超级Claus法又在低温氧化催化剂方面取得了重要突破，降低了反应器的入口温度和过程气再热的能耗，使该工艺迅速得以推广。
超级Claus硫磺回收工艺是在常规Claus工艺基础上添加一个选择性催化氧化反应段，将来自最后一级Claus段的过程中残留H2S选择氧化为元素硫，兼具了硫磺回收和尾气处理双重功效，可使硫磺回收率提高到99%以上。此外，该工艺以硫化氢过量的方式运转，对过程气中H2S：SO2比例不敏感，装置操作性能得到了较大提高。但该工艺使用的催化剂价格昂贵，易受硫酸盐化的冲击，可能造成催化活性的大幅度降低，快速地缩短催化剂寿命。
