节能减排

JB/T5630-1991 现行

: 中文题名：半导体器件扩散炉能耗分等
: 英文题名：Diffusion furnace for semiconductor devices. Grading of energy consumption

基本信息: 发布机构：机械电子工业部; 发布日期：1991-09-13; 实施日期：1992-07-01; 关联能源：

适用范围: 本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。

关联标准

替代标准

引用标准

标准分类号: 中国标准分类号：J01; 国际标准分类号：21.010

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