JB/T5629-1991 废止

中文题名:半导体器件烧结炉 能耗分等
英文题名:Welding furnace for semiconductor devices. Grading of energy consumption
基本信息
发布机构:机械电子工业部
发布日期:1991-08-27
实施日期:1992-07-01
关联能源:
适用范围

本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kM的烧结炉,单台或炉群

关联标准
替代标准
引用标准
标准分类号
中国标准分类号:J01
国际标准分类号:21.010